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[期刊论文] 作者：R.A.Bond,娄子勤,
来源：压电与声光 年份：1982
已研究成功用激光干涉法监控透明基片热膨胀的技术,可用它在等离子体刻蚀薄膜集成电路时,测量玻璃基片的温度。曾在气压和气流速率不变的O_2、N_2和湿空气等离子体中,测定了...
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