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[期刊论文] 作者:R.ROUSSILLE,张莲萍,,
来源:红外技术 年份:2004
采用汞蒸汽等离子体阴极溅射技术,已同时在几种CdTe衬底上(总面积为20cm~2)外延生长了Cd_xHg_(1-x)Te薄膜。薄膜在加热到310℃的衬底上生成,其淀积速率为0.6μm.h(总厚度≤30...
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