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[会议论文] 作者：RongCheng[1]YuxiuZhou[1]XinxinLi[2],
来源：中国物理学会2013年秋季学术会议 年份：2013
Due to its MOS compatibility and good anisotropic etching characteristics,tetramethyl ammonium hydroxide(TMAH)has been widely used to get high precision bul...
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