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复制多元光学元件的模型型芯机器集成形状检测
[期刊论文] 作者：PFEIFER T,SCHMITT R, 来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于超精密表面,例如微结构的或连续结构的光学器...
复制多元光学元件的模型型芯机器集成形状检测(英文)
[期刊论文] 作者：PFEIFER T,SCHMITT R,DRNER D,SCHNEEFUB K, 来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于超精密表面,例如微结构的或连续结构的光学器...
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