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[期刊论文] 作者：ZHANG Ning-Lin(章宁琳),SONG Zhi-Tang(宋志棠),SHEN Qin-Wo(沈勤我),LIN Cheng-Lu(林成鲁),
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2003
Amorphous zirconia thin films were deposited directly on silicon-on-insulator (SOI) substrates with thin top silicon by ultra-high vacuum electron beam evaporat...
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