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,The role of hydrogen in hydrogenated microcrystalline silicon film and in deposition process with V
[期刊论文] 作者：Yang Hui-Dong,Su Zhong-Yi,
来源：中国物理（英文版） 年份：2006
The role of hydrogen in hydrogenated microcrystalline silicon (μc-Si:H) thin films in deposition processes with very high frequency plasma-enhanced chemical va...
[期刊论文] 作者：LI Ming,FANG Jie,SU Zhong-yi,
来源：上海交通大学学报（英文版） 年份：2010
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