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[期刊论文] 作者：张灵浩,夏克贵,马兴华,朱玲琳,曾爱军,黄惠杰,Sergey Avakaw,
来源：中国激光 年份：2022
退偏器在深紫外光刻机照明系统中具有重要作用.尽管相关的设计、制造、性能评估已有一些报道,但是,相应的检测手段大多工作在可见光波段,目前仍缺乏直接对深紫外特定波长应用的退偏器进行性能检测的方法.本文提出了一种与激光光强波动无关的248 nm退偏器检测方......
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