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[会议论文] 作者：Zhang Qian,张倩,Xiong Chenglei,熊诚雷,Qi Xudong,齐旭东,She Ge,史舸,Cui Xiaohuan,崔小换,
来源：2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会 年份：2011
本文介绍了RCA清洗液组成、特点及清洗原理，研究在不同温度下,RCA清洗的SC-1溶液对颗粒去除的影响,得出工业生产中较合适的清洗温度。...
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