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[期刊论文] 作者:Sirk.,MD,李庠, 来源:真空电子技术 年份:1991
本文介绍了一种不需感受器的用行波加热低电阻率半导体带材(方形或接近方形的)、或薄片(圆形或几乎是圆形的)的技术。相信这项技术在多达30个样品的同时均匀加热方面具有前景...
[期刊论文] 作者:Sirk.,MD,李庠, 来源:真空电子技术 年份:1991
本文介绍了不用接受器、在行被谐振器内用微波加热低电阻率半导体带材的技术。这项技术被认为在同时均匀加热差不多30片带材方面具有发展前途。...
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