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[会议论文] 作者：Kao Wen-Hsien,Su Yan-Liang,Hou Kun-Ku,Yao Sun-Hui,
来源：The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta 年份：2011
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[会议论文] 作者：Kao Wen-Hsien,Su Yan-Liang,Yao Sun-Hui,Hou Kun-Ku,
来源：The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta 年份：2011
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