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用于聚合物基微流体MEMS的等离子体活性晶圆键合技术(英文)
[期刊论文] 作者：Sharon Farrens,Paul Kettner,Thomas Glinsner,, 来源：电子工业专用设备 年份：2006
Lab-on-chip或μ-TAS(micro-totalanalysissystems)结合流体处理、检测及数据分析,是一种便携式的低成本高效器件。在微流体应用中,聚合物具有比硅或玻璃器件更明显的优势,它...
用于聚合物基微流体MEMS的等离子体活性晶圆键合技术
[期刊论文] 作者：Sharon Farrens,Paul Kettner,Thomas Glinsner, 来源：电子工业专用设备 年份：2004
Lab-on-chip或μ-TAS(micro-total analysi s systemS)结合流体处理、检测及数据分析,是一种便携式的低成本高效器件.在微流体应用中,聚合物具有比硅或玻璃器件更明显的优势,...
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