搜索筛选:
搜索耗时1.7636秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[会议论文] 作者：Toshihisa Nozawa,Peter Ventzek,Jianping Zhao,Lee Chen,Merritt Funk,Ron Bravenec,Radha Sundararajan,Koji,
来源：2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议 年份：2011
Vacuum ultraviolet (VUV) radiations generated in low temperature plasmas has been reported to cause wafer damage,alteration of polymer morphology and electrical properties of dielectrics....
相关搜索：
