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[会议论文] 作者：李燕,曹亮,李晖,Wonsik YOO,梁栋,
来源：2013中国西部声学学术交流会 年份：2013
本文对一种利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制作4英寸图形化蓝宝石基底的方法进行了研究.制作过程中,选用了C轴(0001)取向的4英寸蓝宝石平片作为实验样品,通过光刻工艺和I...
[期刊论文] 作者：李燕, 曹亮, 李晖, 唐代华, Wonsik YOO, 梁,
来源：压电与声光 年份：2004
该文对利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀设备来制作图形化蓝宝石基底(PSS)的工艺控制进行了研究。在工艺制作过程中,选用了C轴(0001)取向的100mm蓝宝石平片作为实验样品,通过...
[期刊论文] 作者：李燕, 曹亮, 李晖, 唐代华, Wonsik YOO, 梁栋,,
来源：压电与声光 年份：2013
...
[期刊论文] 作者：李燕,曹亮,李晖,唐代华,Wonsik YOO,梁栋,杨正兵,
来源：压电与声光 年份：2013
该文对利用感应耦合等离子体（ICP）刻蚀设备来制作图形化蓝宝石基底（PSS）的工艺控制进行了研究.在工艺制作过程中,选用了C轴（0001）取向的（Φ）100mm蓝宝石平片作为实验样品,通过光刻工......
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