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[会议论文] 作者：XIA Shanlin,夏山林,
来源：全国特种气体第十六次年会 年份：2012
硒化氢用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气。由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一，是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。文章介绍了硒化氢的几种制备方法并对每种方法做了评价。......
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