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[期刊论文] 作者：Yasuhiro Torii,李小斌,
来源：微细加工技术 年份：1992
前面已经介绍过一种大束流ECR离子源,它能产生O+的含量达80％的200mA氧束流。最近,又研制出能产生束流密度大于100mA/cm2的两种更先进的ECR离子源,其中一种既能提供高束流密度,...
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