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[期刊论文] 作者:杨曜源,李卫,张力强,蔡以超,王向阳,肖红涛,田鸿昌,东艳萍,方珍意,郝永亮, 来源:人工晶体学报 年份:2004
本文报道了用化学气相沉积(CVD)法生长ZnS透明多晶体的实验结果,对生长的晶体的物理化学性能进行了测试,讨论了化学气相沉积工艺中影响ZnS晶体质量的因素。结果表明:选用固体...
[期刊论文] 作者:杨曜源,方珍意,蔡以超,王向阳,张力强,肖红涛,田鸿昌,东艳萍,李卫,郝永亮, 来源:硅酸盐学报 年份:2004
采用化学气相沉积 (CVD)法 ,在ZnSeH2 -Ar体系中生长了用于红外光学窗口的ZnSe透明多晶体。测定了ZnSe样品的XRD谱和红外透过光谱 ,用光学显微镜观察了样品的显微形貌 ;讨论...
[期刊论文] 作者:杨曜源,蔡以超,东艳苹,张力强,王向阳,肖红涛,田鸿昌,李卫,郝永亮,方珍意, 来源:人工晶体学报 年份:2004
本文报道了CVD法制备ZnS晶体的制备工艺,系统地研究了气体流量、工作气压、基板温度等主要工艺参数对沉积速率的影响规律。实验表明,随着H2S(s)/Zn摩尔流量比的增加,沉积速率...
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