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[期刊论文] 作者：王金林,陈明,韩荣久,刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,裴舒,
来源：航空精密制造技术 年份：2003
讨论了激光陀螺超光滑光学反射镜基片的加工和检测技术,并给出了超光滑光学基片的非接触光学测量仪和原子力显微镜的测试图。还论述了原子力显微镜测试的准确性以及超光滑光...
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