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[期刊论文] 作者:贾翠萍,董玮,徐宝琨,潘建旋,周敬然,陈维友, 来源:半导体技术 年份:2005
研究了在KOH溶液中(110)硅片的腐蚀特性,在保证(110)面的平整和{111}面的光滑的腐蚀实验条件下,利用(110)面和{111}面腐蚀选择比大,采用湿法腐蚀技术可以制作高深宽比结构的方式...
[会议论文] 作者:贾翠萍;董玮;周敬然;王丹;刘彩霞;臧会东;徐宝琨;陈维友;, 来源:第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会 年份:2005
本文采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上我们制作了微反...
[期刊论文] 作者:贾翠萍,董玮,徐宝琨,潘建旋,周敬然,陈维友,JIACui-ping,DONGWei,XUBao-kun,PANJian-xuan,ZHOUJing-ran,CHENWei-you, 来源:城市道桥与防洪 年份:2005
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者:董玮,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,孙东明,徐宝琨,王立军,陈维友,DongWei,ZhangXindong,LiuCaixia,JiaCuiping,PanJianxuan,SunDongming,, 来源:黑龙江科技信息 年份:2005
本文通过对荣华二采区10...
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