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[期刊论文] 作者：朱慧群,李毅,丁瑞钦,王忆,黄洁芳,张锐华,,
来源：人工晶体学报 年份：2012
采用射频磁控溅射法,在不同的Ar∶O2条件下,以高掺磷n型Si衬底为磷掺杂源制备了p型ZnO薄膜和p-ZnO/n-Si异质结。对ZnO∶P薄膜进行了光致发光谱（PL）、霍尔参数、I-V特性、扫描电...
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