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[学位论文] 作者：严楷,,
来源：北京科技大学 年份：2017
纳米或微米量级的电接触材料及器件因能够作为电互连线或接触电极而常用于诸如微电子、保护涂层和微电子机械系统等应用中。这些电接触薄膜材料主要是由金、银、铜、镍的金属...
[期刊论文] 作者：杨立平,严楷,赵园园,曹江利,,
来源：陶瓷学报 年份：2017
通过电子束蒸发镀膜方法在SiO2（native）/n-Si（100）基底上沉积HfO2薄膜,采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、掠入射X射线衍射以及X射线光电子能谱研究氮气气氛下热处理温度对HfO2薄...
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