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[期刊论文] 作者：孙建海,崔大付,张璐璐,任艳飞,李辉,陈兴,
来源：第11届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2009
文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器,这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻,利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex7740玻璃上并通过剥离技术...
[期刊论文] 作者：孙建海，崔大付，张璐璐，任艳飞，李辉，陈兴，SUNJian-,
来源：仪表技术与传感器 年份：2009
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