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[期刊论文] 作者：卢歆,何明轩,李源,傅云霞,汪红,,
来源：传感器与微系统 年份：2011
针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求，尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理，研制了基于电容传感器的微触觉......
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