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[会议论文] 作者：曾昭邦,冷乐蒙,江伟,
来源：2020第二届有机光电材料与器件发展高峰研讨会 年份：2020
硅基光子技术近年来得到快速发展。现有硅光技术在基本器件技术已经成熟，未来将向高性能制造、高密度集成、多材料混合集成等方向发展。硅光器件的加工制造过程中通常会出现工艺偏差，如器件中各结构的宽度、厚度、位置等可能偏离设计参数，从而影响器件性能。......
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