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[学位论文] 作者:刘伟阳,
来源:大连理工大学 年份:2023
具有脉冲调制功能的高功率调制脉冲磁控溅射(Modulated Pulsed Power magnetron sputtering,MPPMS)和高功率深振荡磁控溅射(Deep Oscillation magnetron sputtering,DOMS)是最新一代的高功率脉冲磁控溅射技术(High Power Impulse magnetron sputtering,Hi PIMS)。因脉......
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