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[期刊论文] 作者：刘善群,,
来源：福建史志 年份：2015
自有客家研究,随即也就有石壁研究,历二百年的客家研究中,石壁在客家历史上的作用,是不可或缺的课题。在广泛深入的客家研究中,石壁在客家史中的定位逐渐清晰和确定,如今...
[期刊论文] 作者：刘善群,,
来源：福建史志 年份：2015
（续上期）三、石壁价值的深度开发2012年颁布了《国家文化科技创新工程纲要》。党的十八届三中全会又提出“构建现代化公共文化服务体系建设”的要求。福建省政府出台《关于加快......
[期刊论文] 作者：刘善群,喻卫兵,赵雪梅,陶玲,陆川,,
来源：压电与声光 年份：2015
压电晶圆表面形貌特征参数是影响光刻剥离工艺及器件批生产成品的关键技术基础。基于声表面波（SAW）器件剥离工艺,该文提出并量化了晶圆材料表面形貌表征参数体系：翘曲度（BOW）、平......
[期刊论文] 作者：周卫,刘善群,陈峻,邵静,刘积学,吴燕,朱明,赖彬,喻卫兵,,
来源：压电与声光 年份：2015
该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波...
[期刊论文] 作者：陈运祥,董加和,司美菊,李洪平,赵雪梅,张永川,于新晓,刘善群,,
来源：压电与声光 年份：2015
介绍了FBAR用复合氮化铝(AlN)压电薄膜的制作方法。采用双S枪中频(40kHz)磁控反应性溅射铝靶制作出了AlN压电薄膜。采用双S枪直流(DC)磁控溅射钼(Mo)靶制作出了Mo电极薄膜。...
[期刊论文] 作者：周卫,刘善群,陈峻,邵静,刘积学,吴燕,朱明,赖彬,喻卫兵,许东辉,田亚睿,曾武,伍平,,
来源：压电与声光 年份：2015
该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波...
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