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[期刊论文] 作者:刘成森,李晓红,王德真,刘天伟, 来源:真空科学与技术学报 年份:2008
本文利用两维流体模型研究了半圆形容器在放置共心零电位附加电极情况下,等离子体源离子注入的离子鞘层时空演化动力学过程。考察了鞘层内随时间变化的电势分布和离子密度分布......
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