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[学位论文] 作者：刘香君,
来源：刘香君 年份：2022
相变存储器是极具发展潜力的新型非易失性存储器,基于Sb2Te3的相变存储器具备极快的SET速度,但器件的热稳定性较差。在Sb2Te3中掺杂Ti元素能显著增强其非晶稳定性,但不可避免会减慢相应存储单元的SET速度。针对此问题,本文从材料设计的角度出发,采用磁控溅射法......
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