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[期刊论文] 作者:邱清泉,励庆孚,Jim Finely,, 来源:西安交通大学学报 年份:2007
通过分析磁场对磁控溅射过程的影响,总结出了矩形平面直流磁控溅射装置工作区域磁场的设计原则,并给出了两种磁体结构.采用有限元方法对一套装置的磁场进行了计算,磁场计算结...
[期刊论文] 作者:上官璇峰,励庆孚,袁世鹰, 来源:中国电机工程学报 年份:2007
按照多段式初级永磁直线同步电机实际结构,利用有限元法求出电机次级在不同位置时各段初级的电感、励磁磁链和切向磁力,构建这些量和次级位置间的函数关系。考虑了电感和磁链的......
[期刊论文] 作者:Yu Jiao,Jim Finely,邱清泉,励庆孚, 来源:西安交通大学学报 年份:2007
通过分析磁场对磁控溅射过程的影响,总结出了矩形平面直流磁控溅射装置工作区域磁场的设计原则,并给出了两种磁体结构.采用有限元方法对一套装置的磁场进行了计算,磁场计算结...
[期刊论文] 作者:邱清泉,励庆孚,苏静静,Jiao Yu,Finely Jim, 来源:真空科学与技术学报 年份:2007
放电等离子模拟是平面直流磁控溅射装置系统仿真的一个重要的子过程。本文根据模型的种类,求解问题的维数以及自洽性对磁控放电等离子体模拟方法进行了分类,并通过介绍不同种类......
[会议论文] 作者:龙虹毓,王曙鸿,邱捷,励庆孚, 来源:2007年电工理论与新技术学术年会 年份:2007
分析了标准遗传算法容易陷入"早熟"的原因,基于种群相异度的计算与变异概率的自调整,对标准遗传算法进行了改进,通过针对测试函数进行验算,证明改进后的遗传算法可获得全局最优解......
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