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[期刊论文] 作者：卢礼华, 梁迎春, 大刀川博之, 郭永丰, 下河边明,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2006
对于“直流电机+滚珠丝杠”驱动机构,摩擦是实现大行程具有纳米级分辨率点位控制的主要障碍．通过设计高增益PID控制器,可以抑制摩擦的影响并在大范围内实现纳米定位,只是系统...
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