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[期刊论文] 作者：李世维,王群书,古仁红,刘君华,,
来源：仪器仪表学报 年份：2008
本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望。重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器。首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅...
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