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[期刊论文] 作者：王阳,孙聂枫,李晓岚,王书杰,邵会民,史艳磊,付莉杰,
来源：微纳电子技术 年份：2020
采用液封直拉(LEC)法制备了掺Fe半绝缘磷化铟(InP)晶体,通过电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法和辉光放电质谱(GDMS)法等直接测试元素含量的方法研究了作为掺杂剂的Fe浓度分布...
[期刊论文] 作者：史艳磊,孙聂枫,徐成彦,王书杰,林朋,马春雷,徐森锋,王维,陈春梅,付莉杰,邵会民,李晓岚,王阳,秦敬凯,
来源：无机材料学报 年份：2020
磷化铟（InP）是一种重要的化合物半导体材料。InP由于性能优异,在高频电子器件及红外光电器件领域的应用日趋增多。目前,磷化铟器件的价格远高于砷化镓器件,其主要原因是磷化铟单晶成品率低,以及晶圆尺寸较小造成外延和器件工艺成本居高不下。增大InP单晶的直径对......
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