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[期刊论文] 作者：余显忠,陈学东,叶燚玺,贾文川,
来源：中国机械工程 年份：2008
高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑，实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响，通过有限元的方法建立......
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