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[期刊论文] 作者:陈果, 王江, 吴世海, 王韬, 张万里, 来源:电子元件与材料 年份:2022
提出了一种含有新型不规则形状的压力敏感膜的压阻式压力传感器,这种新型薄膜结构能够将整个膜面的应变聚集在四个局部区域内,从而提高传感器的灵敏度。惠斯通电桥被用来实现压强到电信号的转换,而电桥上的薄膜电阻刚好位于压力敏感膜片上的四个应变最大区域。实验......
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