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[期刊论文] 作者：吴俊星,刘卫丽,谢华清,宋志棠,朱月琴,,
来源：上海第二工业大学学报 年份：2015
介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧...
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