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[期刊论文] 作者：谭刚,吴嘉丽,,
来源：光学精密工程 年份：2005
以二氯甲硅烷和氨气分别作为低压化学气相淀积(LPCVD)氮化硅(Si3N4)薄膜的硅源和氨源,以高纯氮气为载气,在热壁型管式反应炉中反应生成Si3N4薄膜.考察了工作压力、反应温度、...
[会议论文] 作者：谭刚, 吴嘉丽,,
来源： 年份：2005
在分析硅衬底CMP的动力学过程基础上,提出了在机械抛光去除产物过程中,适当增强化学作用可显著改善产物的质量传输过程,从而提高抛光效率。在对不同粒径分散度的氧化铈抛光液...
[期刊论文] 作者：谭刚，吴嘉丽，TANGang，WUJia-li,
来源：城市道桥与防洪 年份：2005
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：谭刚，吴嘉丽，TanGang，WuJiali,
来源：仪器仪表学报 年份：2005
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[期刊论文] 作者：谭刚，吴嘉丽，TANGang，WuJiali,
来源：仪器仪表学报 年份：2005
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[会议论文] 作者：谭刚,吴嘉丽,李仁锋,,
来源：设备管理与维修实践和探索 年份：2005
LPCVD 是大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)以及半导体光电器件工艺领域里的主要工艺之一。PCVD 技术可以提高淀积薄膜的质量,使膜层具有均匀性好、缺陷密度低、...
[期刊论文] 作者：陈光焱,吴嘉丽,赵龙,
来源：传感器技术 年份：2005
设计制作了一种微机械G开关,该微加速度开关采用微机电系统(MEMS)体加工工艺,其敏感元件由螺旋梁支撑的检测质量块和它下面的微触点构成,在外界加速度作用下,检测质量块发生...
[会议论文] 作者：谭刚,吴嘉丽,李仁锋,
来源：四川省电子学会电子测量与仪器专委会2005年学术年会(第十二届) 年份：2005
文章就热壁LPCVD设备使用过程中出现的问题作了分析,提出了一些解决办法,并就设各易出现的故障及日常维护谈一点体会。...
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