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[期刊论文] 作者：谭刚,吴嘉丽,唐海林,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2009
“叉指式微加速度计”的研制，需要使用高浓度硼扩散硅片，而硅片经过高浓度硼扩散后，硅片双面生长了一层硼硅玻璃，很难将其去除，不能在高浓度硼扩散层上制作更好的“又指式微加速度......
[期刊论文] 作者：陈光焱,吴嘉丽,赵龙,王超,
来源：光学精密工程 年份：2009
低g值惯性开关是一种对线加速度敏感并在施加的加速度作用下完成闭合的惯性装置。由于微小尺寸的限制，低g值（1-30g）惯性开关只能设计为微质量块和低刚度支撑梁的结构。为了获得......
[期刊论文] 作者：谭刚，吴嘉丽，唐海林，TANGang，WUJia-li，TA,
来源：仪表技术与传感器 年份：2009
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[期刊论文] 作者：李仁锋, 马凯, 郑英彬, 袁明权, 施志贵, 吴嘉丽,,
来源：微纳电子技术 年份：2009
键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用。为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法...
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