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[期刊论文] 作者：王超,吴嘉丽,张莉,
来源：微纳电子技术 年份：2012
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置.为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构.该结...
[期刊论文] 作者：王超,吴嘉丽,陈光焱,,
来源：光学精密工程 年份：2012
采用双埋层SOI（Silicon-On-Insulator）材料,结合KOH腐蚀工艺、电感耦合等离子体（ICP）刻蚀工艺、阳极键合以及喷雾式涂胶工艺,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关。利...
[期刊论文] 作者：王超,陈光焱,吴嘉丽,,
来源：中国惯性技术学报 年份：2012
选用典型的＂弹簧-质量＂系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分......
[会议论文] 作者：谭刚,王林林,吴嘉丽,
来源：第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2012
在新引进日本抛光机9B-6P上进行石英摆片抛光,经过以下几点技术创新,增加十字沟槽抛光垫、抛光料粒径控制、抛光压力优化,针对抛光过程中出现的缺陷,提出解决方案,摸索出...
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