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片上太赫兹天线集成器件LT-GaAs外延转移工艺
[期刊论文] 作者：郭春妍,徐建星,彭红玲,倪海桥,汪韬,田进寿,牛智川,吴朝新, 来源：红外与毫米波学报 年份：2017
提供了一种实现片上太赫兹天线集成器件光电导开关材料低温GaAs（LT-GaAs）外延层的转移工艺,使用HNO_3-NH_4OH-H_2O-C_3H_8O_7·H_2O溶液-H_2O_2-HCl腐蚀体系化学湿法腐蚀分...
片上太赫兹天线集成器件LT-GaAs外延转移工艺
[期刊论文] 作者：郭春妍,徐建星,彭红玲,倪海桥,汪韬,田进寿,牛智川,吴朝新, 来源：红外与毫米波学报 年份：2017
提供了一种实现片上太赫兹天线集成器件光电导开关材料低温GaAs(LT-GaAs)外延层的转移工艺,使用HNO3-NH4OH-H2O-C3H8O7·H2O溶液-H2O2-HCl腐蚀体系化学湿法腐蚀分子束外延(MB...
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