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热处理对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响
[期刊论文] 作者：杨杰,陈光焱,王旭光,沈朝阳,姚明秋, 来源：强激光与粒子束 年份：2004
通过射频磁控溅射在氧化硅片表面沉积ZnO/Au薄膜,并通过不同的热处理方式对薄膜进行退火.为了研究退火对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响,采用X射线衍射分析(XRD)、光学显微...
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