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[期刊论文] 作者:王芳,姚明秋, 来源:科技风 年份:2015
本文对阳极键合产生的气泡形貌、键合电流和Na离子积聚进行了研究,通过对硅片三种不同处理方式研究其对气泡产生的影响,处理方式包括亲水、疏水和未处理,结果表明经亲水处理的硅......
[期刊论文] 作者:王旭光,姚明秋,席仕伟,徐韩, 来源:太赫兹科学与电子信息学报 年份:2015
在ZnO薄膜上采用不同溅射功率制作了Au薄膜,研究不同溅射功率对Au膜成膜速率、结晶质量和结合力的影响,表明在本实验中100 W功率下Au膜的成膜质量比较好。同时对Zn O薄膜电阻...
[期刊论文] 作者:杨杰,陈光焱,王旭光,沈朝阳,姚明秋,, 来源:强激光与粒子束 年份:2015
通过射频磁控溅射在氧化硅片表面沉积ZnO/Au薄膜,并通过不同的热处理方式对薄膜进行退火。为了研究退火对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响,采用X射线衍射分析(XRD)、光学显微...
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