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[期刊论文] 作者：陈燕,佘秋明,吴爱林,宋新山,宋志棠,姚栋宁,吴良才,
来源：人工晶体学报 年份：2016
分别采用原子层沉积（ALD）和磁控溅射法（MS）在Si和石英衬底上制备TiO2薄膜,并进行退火处理。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和紫外分光光度计对这两种方......
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