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[期刊论文] 作者：贾莹,张怡南,姜昊辰,鲁韶菲,陈瀛,邹斌,
来源：科技通报 年份：2020
薄膜的表面粗糙度直接影响薄膜的最终性能.本文构建了薄膜的三维生长动力学模型,并采用蒙特卡罗方法实现了薄膜生长的数值模拟,得到了沉积速率、基底温度和原子覆盖度等因素...
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