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[期刊论文] 作者:邱成军,左霞,孙艳美,孔姗姗,, 来源:仪器仪表学报 年份:2006
采用MEMS技术研制了一种以材料硅为基底,具有立体结构的酞菁铅(PbPc)薄膜气体传感器.阐述了该传感器的工作原理、结构设计及工艺流程,给出了酞菁铅薄膜的制备方法,并对PdPc薄...
[期刊论文] 作者:邱成军,左霞,孙艳美,孔姗姗,QiuChengjun,Zuo, 来源:仪器仪表学报 年份:2006
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