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[期刊论文] 作者：林波,左长明,周勋,
来源：分析测试技术与仪器 年份：2009
为了获得高质量的高Al组分AlGaN外延材料,一般是在蓝宝石基片与外延层之间引入缓冲层或模板层（GaN、AlN或两者的交替周期超晶格）来提高AlGaN的外延质量,不同的缓冲层及结构对Al...
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