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[期刊论文] 作者：王敬宇,左长明,姬洪,,
来源：分析测试技术与仪器 年份：2010
常温下用直流溅射法在Si（100）上淀积Pt/Ti电极薄膜.采用X射线衍射、原子力显微镜检测不同退火温度的薄膜,结果表明,退火初期Pt层内首先产生了压应力,从而使Pt表面形成了小丘凸...
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