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[学位论文] 作者：张丽彬,
来源：华中科技大学 年份：2023
深紫外发光二极管（LED）由于在杀菌消毒、水净化、医疗等诸多领域具有广泛应用而被广泛研究。其中深紫外LED薄膜生长是深紫外LED的源头工艺和关键技术。目前对深紫外LED薄膜生长的研究主要依赖实验且现有的报道忽略或回避了深紫外LED薄膜生长过程中存在的工艺重复......
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