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[期刊论文] 作者：张凤田,唐祯安,,
来源：中国集成电路 年份：2006
微传感器与电路集成技术是实现片上测试系统的关键技术之一。随着片上系统(SOC,Sys-tem-on-a-chip)技术的发展,如何将微传感器与电路集成在同一芯片上成为SOC与传感器领域的一个重要方向。本文介绍了加热式气压微传感器的工作原理、处理电路及其集成工艺方案。......
[期刊论文] 作者：陈涛,金仁成,张凤田,王宏斌,,
来源：传感技术学报 年份：2006
针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试，对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真．运用模糊控制算法与模糊PID控制算法，对实验进行了建模及MATLAB仿真，并比较了两种算......
[期刊论文] 作者：余隽,唐祯安,张凤田,魏广芬,王立鼎,,
来源：大连理工大学学报 年份：2006
用表面硅微加工工艺研制了一种用于薄膜热容测量的新型微桥量热计，热性能测试与分析表明，微桥量热计温度响应快，温度均匀性较好，采用脉冲量热法，通过测量量热计的热功耗、瞬态温度......
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