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[期刊论文] 作者：孙江超,张小玲,张彦秀,谢雪松,吕曼,吕长志,
来源：微电子学 年份：2014
研究掺氯氧化+PE钝化、无氯氧化+PE钝化、掺氯氧化+BPSG钝化三种不同工艺线性稳压器的电离辐照响应及退火特性.实验结果发现,掺氯氧化+BPSG钝化工艺样品比其他两种工艺电离损...
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