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[期刊论文] 作者：徐博,岳超,盛拓,张怡宇,,
来源：半导体光电 年份：2015
采用射频等离子体辅助分子束外延技术(P-MBE),在石英玻璃基片上制备了高纯度的透明导电ZSO薄膜,利用X射线衍射、原子力显微镜、Hall测试仪和光谱测量等表征技术,研究了射频功...
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