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[学位论文] 作者:张昭勇, 来源:东南大学 年份:2002
该文基于国内外现有的研究成果,通过大量的研究和论证,提出了一个具有新型对称结构的CMOS集成二维热流量传感器.文中具体阐述了此传感器的工作原理,设计过程以及制作方法和最...
[期刊论文] 作者:张昭勇,秦明,黄庆安, 来源:电子器件 年份:2001
本文详细地介绍了硅热流量传感器的工作原理并对它进行了细致的分类 ,同时概括了其发展和应用情况。最后对其目前发展过程中一些尚待解决的问题及其未来的发展趋势进行了讨论...
[期刊论文] 作者:张昭勇,张昭猛,秦明,黄庆安, 来源:传感器技术 年份:2002
利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN, 模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场.并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及...
[期刊论文] 作者:黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇, 来源:电子科技导报 年份:1999
主要介绍 MEMS 计算机辅助设计(CAD) 的研究内容和发展,以及和 MEMS CAD 有关的MEMS 标准化制造技术的发展情况。...
[会议论文] 作者:黄庆安,匡一宁,秦明,李伟华,章彬,朱柯,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇,孟为民,张佩君, 来源:第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份:2000
本文首先讨论了东南大学正在开发的MEMS CAD软件的系统结构和工作流程,然后通过一个器件级模拟的例子对软件的工作进行了说明....
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